| 類別 | 項目 | 參數詳情 |
|---|---|---|
| 規格 | 真空室 | SUS304，Φ1550mm×1800mm(H) |
| 工件架尺寸 | Φ1400mm | |
| 工件架轉速 | 0-30rpm (可變) | |
| 膜厚檢測裝置 | 多點晶振傳感器 + 膜厚控制儀 | |
| 蒸發源 | 電子槍 2 套 + IGBT 電源 | |
| 離子源 | 17/23 cm RF 離子源 | |
| 排氣系統 | 機械泵 + 分子泵（擴散泵）+ 深冷捕集泵 | |
| 性能 | 極限真空度 | 7.0×10??Pa 以下 |
| 排氣時間 | 15min（大氣壓～1.3×10?3Pa） | |
| 基板溫度 | 最高：350℃ | |
| 工作條件 | 設備尺寸 | 約 5500mm (W)×7200mm (D)×3700mm (H) |
| 電源 | 3 相，380v,50Hz，總容量約 120kVA | |
| 冷卻水 | 水流量 11m3/h，溫度 20℃-25℃ | |
| 空氣壓力 | 0.6-0.7MPa 以上 | |
| 重量 | 約 11000kg |
