| 類別 | 項目 | 參數詳情 |
|---|---|---|
| 規格 | 轉鼓交換室 | SUS304，（長）3200 mm×（寬）2620 mm×（高）2160 mm |
| 鍍膜工藝室 | SUS304，（長）2610 mm×（寬）2090 mm×（高）2160 mm | |
| 性能 | 轉鼓轉速 | 10~120rpm（可變） |
| 進出料室抽速 | ≤15min（大氣壓～2.0×10?1Pa） | |
| 工藝室抽速 | ≤15min（大氣壓～2.0×10?1Pa） | |
| 極限真空度 | ≤6.0×10?3Pa | |
| 濺射靶材 | Nb, Si, Cr, Al, Ti, ITO ... | |
| 配置 | 夾具系統 | Φ2000mm，轉鼓型，10 轉 / 分 - 120 轉 / 分（可變） |
| 掛板 | 13-36 個 | |
| 濺射源 | 雙旋轉陰極磁控靶 (可選平面陰極磁控靶) | |
| 排氣系統 | 機械泵，羅茨泵，分子泵；深冷捕集泵 | |
| 真空控制系統 | 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計 | |
| 反應離子源 | RF-ICP 電感耦合射頻離子源 | |
| AF 膜系統 | 電阻蒸發源 + 自動硅烷供應系統 | |
| 充氣系統 | 氣體流量計 | |
| 控制系統 | PC+PLC | |
| 電源系統 | 三相，380V±10%，總容量 1000kVA，50/60Hz | |
| 工作條件 | 冷卻水 | 流量 15T/h；溫度 20-25℃ |
| 壓縮空氣 | 0.5 MPa - 0.7 MPa | |
| 外形尺寸 | 12000mm（寬）×14000mm（深）×3640mm（高） | |
| 重量 | 約 70T |
