| 主要技術參數 | DH-1300 | DH-1400 | DH-1680 |
|---|---|---|---|
| 設備型號 | DH-1300 | DH-1400 | DH-1680 |
| 真空室 | Φ1300×H1200mm | Φ1400×H1200mm | Φ1500×H1200mm |
| 工件架 | 6 桿 - 18 桿 可定制 | ||
| 工件轉速 | 公轉 0~10rpm | ||
| 抽氣系統 | 機械泵 + 羅茨泵 + 維持泵 + 分子泵（擴散泵） | ||
| 烘烤 | 管狀加熱器 300℃(最高溫度 300℃) | ||
| 極限真空 | 6.0×10??Pa (空載) | ||
| 抽氣時間 | 大氣～3.0×10?3Pa ≤15min (空載) | ||
| 偏壓電源 | 單極脈沖偏壓電源或雙極脈沖偏壓電源 | ||
| 濺射陰極 | 多弧靶 | ||
| 設備尺寸 | 約 4200mm (長)×3500mm (寬)×2500mm (高) | 約 4200mm (長)×3500mm (寬)×2800mm (高) | |
| 操作控制 | 觸摸屏一體機 / 工控機系統 | ||
| 電力 | 三相五線制：380V/50HZ 功率：45KW~60KW | ||
| 冷卻水 (壓強 / 溫度) | 0.2~0.3Mpa/20℃~25℃(工業軟水、去離子水) | ||
| 空氣壓力 | 0.5-0.8Mpa (干燥) | ||
