| 主要技術參數 | JSDH-1300 | JSDH-1400 | JSDH-1500 | JSDH-1600 | JSDH-1680 |
|---|---|---|---|---|---|
| 設備型號 | JSDH-1300 | JSDH-1400 | JSDH-1500 | JSDH-1600 | JSDH-1680 |
| 真空室 | Φ1300×H1200mm | Φ1400×H1200mm | Φ1500×H1200mm | Φ1600×H1200mm | Φ1680×H1200mm |
| 工件架 | 6 桿 - 18 桿 或定制 | 6 桿 - 24 桿 或定制 | |||
| 工件轉速 | 公轉 0~10rpm | ||||
| 抽氣系統 | 機械泵 + 羅茨泵 + 維持泵 + 分子泵（擴散泵） | ||||
| 加熱器 | 管狀加熱器 300℃(zui高溫度 300℃) | ||||
| 極限真空 | 6.0×10??Pa (空載) | ||||
| 抽氣時間 | 大氣～6.0×10?3Pa ≤15min (空載) | ||||
| 偏壓電源 | 單極脈沖偏壓電源或雙極脈沖偏壓電源 | ||||
| 磁控陰極 | 圓柱靶，中頻電源或直流電源 | ||||
| 濺射陰極 | 多弧靶 | ||||
| 充氣系統 | 多路充氣系統 | ||||
| 操作控制 | 觸控屏一體機 | ||||
| 設備尺寸 | 約 4200mm (長)×3500mm (寬)×2500mm (高) | 約 4200mm (長)×3500mm (寬)×2800mm (高) | 約 4500mm (長(chang))×4000mm (寬)×2800mm (高) | 約 4500mm (長)×4500mm (寬)×2800mm (高) | |
| 電力 | 三相五線制：380V/50HZ 功率：50KW~80KW | ||||
| 冷卻水 (壓強 / 溫度) | 0.2~0.3Mpa/20℃~25℃(工業軟水、去離子水) | ||||
| 空氣壓力 | 0.5-0.8Mpa (干燥) | ||||
